발행물
컨퍼런스
요업학회 추계 연구 발표회
2000
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COBALT/TANTALIUM ALLOY박막을 이용한 CO-SILICIDE형성 반응 및 열적 안정성 연구
열처리에 따른 ZRO2게이트 유전막의 특성
AMERICAN VACUUM SOCIETY
A STUDY OF ZRO2 AND ZR-SILICATE THIN FILM FOR GATEOXIDE APPLICATIONS
STUDY ON THE OXIDATION BEHAVIOR OF POLY SI1-XGEXFILMS
SOLID STATE DEVICE AND MATERIALS
THE FORMATION OF HIGH TEMPERATURE STABLE CO-SILICIDE FROM CO1-X/TAX SI SYSTEMS