발행물
컨퍼런스
제 20회 한국 진공학회
2001
,
WC-C NANOCOMPOSITE의 미세구조와 기계적 물성에 대한 연구
제 8회 한국반도체학술대회
CO 단일층과 CO-TA 합금층을 이용한 CO 실리사이드의 형성과 열안정성
THE STUDY OF THE MICROSTRUCTURE AND ELECTRICAL PROPERTIES OF ZRO2 THIN FILMS DEPOSITIED BY REACTIVE DC MAGNETRON SPUTTERING METHOD
게이트 전극으로의 사용을 위한 W/WNX/POLY SI1-XGEX 구조의 물리적•전기적 특성 연구
요업학회 추계 연구 발표회
2000
POLY SI1-XGEX박막의 습식 산화 거동에 관한 연구