발행물
컨퍼런스
제 18회 한국 진공학회
2000
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BUCKLING과 FREEHANG을 이용한 DLC 필름의 접착에너지평가
FREEHANG방법을 이용한 DLC필름의 탄성특성 평가
제 7회 한국반도체학술대회
THE PHYSICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF POLYCRYSTALLINE SI1-XGEX AS A GATE ELECTRODE MATERIAL FOR
CO SALICIDE 공정에서 TI CAPPING LAYER의 역할
THE STUDY OF MICROSTRUCTURE AND ELECTRICAL PROPERTIES OF CEO2 THIN FILMS DEPOSITED BY DC MAGNETRON S