Performance of the plasma deposited tungsten nitride diffusion barrier for Al and Au metallization

P형 InP에서의 수소원자의 양이온적 거동

Suppression of Al spiking by the plasma deposited tungsten nitride barrier layer

PECVD 법으로 형성한 W67N33/GaAs 구조의 열적 특성

Characteristics of plasma deposited tungsten schottky contacts to GaAs

New method to improve the adhesion strength of tungsten thin film on silicon by W2N glue layer

플라즈마 증착방법에 의한 수소화된 비정질 질화 규소 박막의 특성 연구

비정질 실리콘 전계효과 트랜지스터의 열처리 효과

고온 열처리 과정에서 산소 Outgasing 효과에 의한 HfOx 박막의 Nanomechanics 특성 연구

Nano-Mechanics 분석을 통한 질화 텅스텐 확산방지막의 질소 유량에 따른 연구