대구경북과학기술원 전기전자컴퓨터공학과 권혁준 교수
권혁준 연구실은 반도체 공정과 전자 소자 제작에서 레이저를 열원으로 활용하는 공정 제어 기술을 중심으로 연구를 수행합니다. 금속 산화물 반도체의 도핑 및 결함 상태를 레이저 조사 조건과 연계해 조절하는 방향으로 기술을 축적하고, 2차원 물질을 활용한 저온 공정 기반 트랜지스터 개발을 진행합니다. 동시에 MEMS/나노 및 마이크로/나노 열전달, 열처리기술, Temperature Measurement을 공정 최적화에 활용합니다. 광열 공정 기반 전자코 감지재 구현과 생성형 AI 후각 변환기 같은 바이오 임바디드 응용으로 확장하며, 6인치 Si CMOS 설계검증 플랫폼과 융합디바이스 제작 플랫폼을 통해 제작 재현성 확보를 지원합니다.
5개년 연도별 논문 게재 수
5개년 연도별 피인용 수
금속 산화물 반도체의 제조방법, 이를 통해 제조된 금속 산화물 반도체
N형 도펀트의 도핑 방법 및 이를 이용하여 제조된 N형 도펀트가 도핑된 기판, 이를 이용한 트랜지스터의 제조 방법 및 이를 포함하는 트랜지스터
시드층의 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 시드층, 이를 포함하는 전이금속 디칼코게나이드 층의 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 전이금속 디칼코게나이드 층