안지훈 교수 연구실
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전체 특허
Patent
2017.08
NMDL 첫 특허 출원
2016.12
질화몰리브덴 박막 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 소자
1020250082597
HZO 강유전성 박막 구조체 및 그 제조방법
1020250032950
커패시터, 커패시터의 제조 방법, 커패시터를 포함하는 전자 소자 및 전자 소자의 제조 방법
1020240085753
백금계 금속을 포함하는 박막, 및 그 제조 방법
1020240057361
몰리브덴 탄화물을 포함하는 박막, 및 그 제조 방법
1020240054508
초친수성 코팅 방법 및 이를 이용한 김서림 방지 유리 제조 방법
1020230120103
영역 선택적 원자층 증착법, 이를 위한 장치, 및 이를 통해 제조된 HZO 물질막 구조체
1020230107693
적층 구조의 유전막을 포함하는 커패시터 및 이의 제조 방법
1020230041136
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