2009.05

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Fabrication of micro groove using hybrid of laser beam and electrical discharge machining

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화학기계적연마 공정에서 패드 표면 특성에 따른 구리 디싱 모델링 및 저감

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구리/폴리머 하이브리드 본딩을 위한 플라즈마 보조 화학적기계연마 공정

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Cu/Polymer CMP Technology for Heterogeneous Semiconductor Integration

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Material extrusion additive manufacturing of axial motor stators using custom-made PA12/Fe composite filaments