주요 특허
기판 공정 디바이스
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2025출원번호
1020250045456저에너지 전자 공급 장치
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2024출원번호
1020240095461반응도 삽입 사고 모사 디바이스 및 시스템
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2022출원번호
1020220049722플라즈마 진단 장치, 이를 구비하는 플라즈마 공정 시스템 및 공정 방법
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2022출원번호
1020220008906충격파 발생 장치 및 이를 이용한 충격파 발생 방법
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2018출원번호
1020180018384