발행물
컨퍼런스
대한설비공학회 2021 하계학술발표대회
2021
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실시간 바이오에어로졸 모니터링을 위한 습식 사이클론 포집 기술 개발
239th ECS Meeting
Prediction of Pad Profile with Pressure Distribution on Diamond Disk at Pad Edge
Effect of applied pressure on the ceria Chemical mechanical planarization
2021년 대학기계학회 열공학부문 춘계학술대회
텅스텐 CMP 공정 중 Pad Asperity 에 의한 열전달
2021년 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회
CMP 후 세정 공정 모니터링 실시간 화학물질농도 센서 개발