발행물
컨퍼런스
235th ECS Meeting
2019
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Effects of Amino Acids on Silicon Oxide for High Silicon Oxide Removal Rate Ceria Slurry
Prediction of Pad Wear Depending on Structural Factors of Diamond Conditioner
대한기계학회 열공학부문 춘계학술대회
기화 시스템의 제어 및 발생 입자 측정
한국반도체디스플레이기술학회 학술대회
Post CMP Cleaning 동안 Ceria 입자 제거를 위한 연구
SPCC (The Surface Preparation and Cleaning Conference)
Study on Wet Etching of Dummy Poly-Si