발행물
컨퍼런스
The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
,
Electrical and structural properties of CIGS thin films deposited by RF magnetron sputtering using a Cu(In1-xGax)Se2 single target
2012년 한국화학공학회 춘계학술대회
High Density Plasma Etching of IrMn Thin Films in a HBr/Ar Plasma
Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Stacks in a O2/Ar Plasma
Influence of Two-source Aqueous Solution on CuInS2Thin Films Prepared by Aerosol Jet Deposition
2012년 한국화학공학회 봄학술대회
4성분 단일 타겟을 이용한 RF magnetron sputtering에 의한 CIGS 박막 성장의 기판 온도와 열처리 온도에 따른 전기적 특성