발행물
컨퍼런스
제38회 한국진공학회 동계학술대회
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High density plasma etching of CoFeB and IrMn magnetic films with Ti hard mask
CoFeB과 IrMn 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
High density plasma etching of MgO thin films in Cl2/Ar gases
HBr 가스를 이용한 MgO 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
19th Internation Photovoltaic Science and Engineering Conference and Exhibition (PVSEC)
Characteristics of Indium Zinc Oxide Thin Films Prepared by Direct Current Magnetron Sputtering For Flexible Solar Cells