고대홍 교수 연구실
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층간 스트레인에너지가 감소된 다층 구조의 3D-DRAM 소자 및 그 제조방법
10-2021-0165619
2021.11
광전 소자 및 이의 제조 방법
10-2020-0087585
2020.07
탄소 기반 태양전지 제작을 위한 그래파이트 기판의 표면 특성 개선 방법
10-2020-0083880
2020.07
상압 플라즈마 공정 장치
10-2019-0062997
2019.05
3 차원 적층 소자 제조 방법
10-2018-0174284
2018.12
반도체 구조의 제조 방법 및 반도체 소자
10-2018-0169733
2018.12
핀 구조를 갖는 반도체 소자 및 이의 제조 방법
10-2018-0169742
2018.12
상압 플라즈마를 이용한 선택적 박막 식각 방법
10-2018-0140942
2018.11
상압 플라즈마를 이용한 선택적 박막 형성 방법
10-2018-0140944
2018.11
플라즈마를 이용한 박막 제조방법 및 장치
10-2018-0011891
2018.01
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