홀의 이동도를 개선시킨 트랜지스터 제조 방법

HfSiON를 이용한 이중막 구조의 tunnel barrier를 사용한 Flash memory device 제조 방법

에피텍시얼 금속 실리사이드를 이용한 나노선 및 나노선 성장방법

Plasma doping 방법을 이용한 Carbon 도핑

저 컨택트저항 실리콘계 나노선 및 그 제조방법

플래시 메모리 소자의 제조방법

하프늄 실리케이트 박막 제조방법

실리콘계 나노선 표면의 선택적 금속규화물화 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 소자

실리콘 기판 상에 게르마늄 메사 구조를 형성하는 방법

다층 구조를 갖는 나노선 제조방법