Low-thermal-budget (300°C) ferroelectric TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors realized using high-pressure annealing
S. J. Kim*, Y. C. Jung, J. Mohan, H. J. Kim, S. M. Rho, M. S. Kim, J. G. Yoo, H. R. Park, H. Hernandez-Arriaga, J.-H. Kim, H. T. Kim, D. H. Choi, J. Jung, S. M. Hwang, H. S. Kim, H. J. Kim*, J. Kim*
Applied Physics Letters, 2021