2015

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분산간섭계 원리를 이용한 다채널 광학 갭 센서 개발

2015

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3차원 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기

2015

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이색 BS를 이용한 분산간섭계 한계점 보상

2015

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6 DOF 정합을 이용한 대영역 3차원 측정

2015

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박막 측정을 위한 타원편광기 연구