2014

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Metrology of undoped double-sided polished silicon wafer: surface, thickness and refractive index profile measurements

2014

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서브 샘플링 기법을 이용한 저간섭성 주사 간섭계와 그 응용

2014

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근적외선 저간섭성 간섭계의 활용: 실리콘 웨이퍼의 두께, 굴절률 3D측정

2013

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근적외선을 이용한 실리콘 웨이퍼의 두께, 굴절률 3D 측정

2013

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분산 간섭계의 성능 개선을 위한 최적화 알고리즘 연구