[RCMS]에스케이실트론/3nm급 시스템반도체 소자용 300mm 에피웨이퍼 제조 기술 개발(1/3,2/2))

한국산업기술평가관리원

2022년 - 2022년 12월

(438세부)5nm급 이하 체세대 Logic 소자 원천요소기술개발(6/6)

한국반도체연구조합

2021년 - 2021년 09월

(604세부)저온 접합 기반 3차원 적층 소자용 저온 에피텍시 공정 기술 개발(3/3)

한국반도체연구조합

2021년 - 2021년 12월

[RCMS]성균관대학교산학/5nm급 이하 체세대 Logic 소자 원천요소기술개발(6/6)

한국산업기술평가관리원

2021년 - 2021년 09월

[RCMS]에스케이실트론/3nm급 시스템반도체 소자용 300mm 에피웨이퍼 제조 기술 개발(2/2)

한국산업기술평가관리원

2021년 - 2021년 12월

[RCMS]저온 접합 기반 3차원 적층 소자용 저온 에피텍시 공정 기술 개발(3/3)

한국산업기술평가관리원

2021년 - 2021년 12월

[RCMS]에스케이실트론/3nm급 시스템반도체 소자용 300mm 에피웨이퍼 제조 기술 개발(1/2)

한국산업기술평가관리원

2020년 04월 - 2020년 12월

5nm급 이하 체세대 Logic 소자 원천요소기술개발(5/6)

한국반도체연구조합

2020년 - 2020년 12월

[RCMS] 저온 접합 기반 3차원 적층 소자용 저온 에피텍시 공정 기술 개발(2/3)

한국산업기술평가관리원

2020년 - 2020년 12월

[RCMS]성균관대학교산학/5nm급 이하 체세대 Logic 소자 원천요소기술개발(5/6)

한국산업기술평가관리원

2020년 - 2020년 12월