박막측정기술표준화

산업자원부

2004년 10월 - 2005년 09월

CMOS 적용을 위한 STRAINED SIGE 의 산화 및 RELAXATION 특성연구

한국표준과학연구원

2004년 08월 - 2005년 05월

GESBTE최적화를 위한 열응력 시뮬레이션 및 재료 개발

한국과학기술평가원

2004년 07월 - 2005년 07월

CMOS DEVICE 적용을 위한 STRAINED SI1-XGEX의 산화 및 RELAXATION 특성 연구

한국표준과학연구원

2003년 10월 - 2004년 07월

박막 측정기술 표준화

한국산업기술평가원

2003년 10월 - 2004년 09월

고집적 소자에의 응용을 위한 SL-GE 소자 기술 개발

반도체연구조합

2002년 07월 - 2003년 06월

고집적소자에의 적용을 위한 니켈 & 코발트 샐리사이 공정연구

정보통신연구진흥원

2002년 07월 - 2003년 06월

열분표 및 열처리에 따른 웨이퍼 결함 분석

반도체연구조합

2002년 07월 - 2003년 06월

300MM BATCH TYPE FURNACE개발

반도체연구조합

2001년 07월 - 2002년 06월

고집적 소자에의 응용을 위한 SIGE 소자 기술 개

반도체연구조합

2001년 07월 - 2002년 06월