저온 접합 기반 3차원 적층 소자용 저온 에피텍시 공정 기술 개발(2/3)

한국반도체연구조합

2020년 - 2020년 12월

[RCMS](주)뉴파워프라즈마/셀효율 15%이상의 실리콘 코팅 Carbon fiber 전자소재 개발(8/8)

한국산업기술평가관리원

2019년 05월 - 2020년 02월

[RCMS]저온 접합 기반 3차원 적층 소자용 저온 에피텍시 공정 기술 개발(1/3)

한국산업기술평가관리원

2019년 04월 - 2019년 12월

저온 접합 기반 3차원 적층 소자용 저온 에피텍시 공정 기술 개발(1/3)

한국반도체연구조합

2019년 04월 - 2019년 12월

GAA 소자향 CVD SiGe/Ge 채널 형성 및 유전막 소재/공정 개발(4/6)

한국반도체연구조합

2019년 - 2019년 12월

[RCMS]성균관대학교산학/5nm급 이하 체세대 Logic 소자 원천요소기술개발(4/6)

한국산업기술평가관리원

2019년 - 2019년 12월

[RCMS](주)뉴파워프라즈마/셀효율 15%이상의 실리콘 코팅 Carbon fiber 전자소재 개발(7/8)

한국산업기술평가관리원

2018년 07월 - 2019년 04월

GAA 소자향 CVD SiGe/Ge 채널 형성 및 유전막 소재/공정 개발(3/6)

한국반도체연구조합

2018년 - 2018년 12월

[RCMS]성균관대학교산학/5nm급 이하 체세대 Logic 소자 원천요소기술개발(3/6)

한국산업기술평가관리원

2018년 - 2018년 12월

[RCMS](주)뉴파워프라즈마/셀효율 15%이상의 실리콘 코팅 Carbon fiber 전자소재 개발(6/8)

한국산업기술평가관리원

2017년 09월 - 2018년 06월