[RCMS](주)유진테크/12inch 웨이퍼 고생산성 차세대 10nm이하급 소자용 Si, SiGe 및 Ge 선택적 에피 성장 장비 개발(3/3)

한국산업기술평가관리원

2016년 06월 - 2017년 05월

[RCMS]III-V CHANNEL을 이용한 CMOS EXTENSION 기술 개발(4/5)

한국산업기술평가관리원

2016년 06월 - 2017년 05월

[RCMS}(주)뉴파워프라즈마/셀효율 15%이상의 실리콘 코팅 Carbon fiber 전자소재 개발(4/4)

한국산업기술평가관리원

2015년 11월 - 2016년 08월

[RCMS](주)유진테크/12inch 웨이퍼 고생산성 차세대 10nm이하급 소자용 Si, SiGe 및 Ge 선택적 에피 성장 장비 개발(2/3)

한국산업기술평가관리원

2015년 06월 - 2016년 05월

[RCMS]III-V CHANNEL을 이용한 CMOS EXTENSION 기술 개발(3/5)(2013.06.01.~2018.05.31.)

한국산업기술평가관리원

2015년 06월 - 2016년 05월

[RCMS]삼성전자(주)/22NM급 이하 파운드리 소자 및 PDK 기술 개발(5/5)(2011.05.01~2016.02.29)

한국산업기술평가관리원

2015년 03월 - 2016년 02월

[RCMS}(주)뉴파워프라즈마/셀효율 15%이상의 실리콘 코팅 Carbon fiber 전자소재 개발

한국산업기술평가관리원

2014년 11월 - 2015년 10월

[RCMS](주)유진테크/12inch 웨이퍼 고생산성 차세대 10nm이하급 소자용 Si, SiGe 및 Ge 선택적 에피 성장 장비 개발(1/3)

한국산업기술평가관리원

2014년 06월 - 2015년 05월

[RCMS]한국반도체연구조합/III-V CHANNEL을 이용한 CMOS EXTENSION 기술 개발(2/5)/(미래반도체소자)

한국산업기술평가관리원

2014년 06월 - 2015년 05월

Ⅲ-Ⅴ CHannel을 이용한 CMOS extension 기술 개발/Ⅲ-Ⅴ hetero epitaxy 공정기술

한국반도체연구조합

2014년 05월 - 2015년 05월