발행물
컨퍼런스
제41회 한국진공학화 하계정기 학술대회
2011
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나노트라이볼로지 분석을 이용한 W-N 나노박막의 표면 물성 연구
제 41회 한국진공학회 하계정기 학술대회
박막내의 Stress 형태에 따른 W-N 확산장지막의 열적 안정성 연구
Nano-indenter를 통한 유기발광소자(OLED)용 Ag전극의 표면처리에 따른 물성변화 연구
2011 International Forum on Functional Materials
Mechanical property of W-N thin films for diffusion barrier by Nano-Tribology method
The 15th International Symposium on the Physics of Semiconductors and Applications (ISPSA-XV)
Mechanical properties of ultra thin W-N films for diffusion barrier