2011

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에어로졸 데포지션법으로 성막된 BaTiO3막의 경도가 누설전류에 미치는 영향

2011

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YBCO Coated Conductor(CC)의 열처리에 따른 나노 기계물성의 평가

2011

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Stress - Strain Cuve를 이용한 W-C-N 확산방지막의 물성 특성 연구

2010

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나노크라이볼로지를 이용한 박막 및 표면의 물성 분석

2010

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고밀도 플라즈마를 이용한 STI 공정에 적용되는 SiO2 절연막의 균일성 연구