2009

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Soft-Baking 시간 변화에 따른 PMMA 박막의 물성 연구

2009

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나노트라이볼로지를 이용한 Poly-silicon 패턴 구조물의 붕괴력 특성 연구

2009

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PMMA 박막의 Hardness와 Elastic modulus 특성 연구

2009

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Nano-Indenter 압입팁 특성에 따른 Surface Image 오차 연구

2009

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Plasma를 이용한 세정액의 활성화와 시료 표면의 탄성계수 및 강도 변화에 대한 연구