발행물
컨퍼런스
2021 Dielectric Symposium
2021.02
,
Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 박막 분극 반전 특성의 원자층 증착 온도 의존성
A brief review on semiconductor devices based on fluorite-structured ferroelectrics from the materials-devices integration perspective
The 28th Korean Conference on Semiconductors
2021
Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 박막의 원자층 증착 온도에 따른 강유전체 분극 반전 키네틱스에 대한 영향
9.2nm Hf0.5Zr0.5O2 박막에서 분극 스위칭 펄스의 최적화에 의한 Wake-Up 효과의 완화
원자층증착법으로 증착된 전계 유도 강유전성 Hf 0.3 Zr 0.7 O 2 박막의 전기열량효과에 대한 연구