발행물
컨퍼런스
제 4회 한국MEMS학술대회
2002
,
PDMS로 제작된 두개의 유체경로를 가지는 3차원 수동 미소 유체 혼합기
표면 미세 가공 기술을 이용한 RF 나선형 트랜스포머의 제작
전자기력을 이용한 두 축 구동형 저 전압 실리콘 미소 거울의 설계 및 제작
MEMS인덕터를 이용하여 단일칩으로 집적화된 2.6GHz 전압제어발진기
제 9회 한국반도체학술대회
3D RF MEMS Technology for Wireless Communications