발행물
컨퍼런스
대한전기학회 MEMS 연구회 학술발표회
1998
,
무선 압력 측정을 위한 밀봉형 LC 공진 구조의 제작
제 5회 한국 반도체 학술대회
단결정 실리콘을 발열체 저항으로 이용한 잉크젯 프린트헤드
제 5 회 한국 반도체 학술대회
3-D Micro-structure Fabrication Technology and Its Application to Inkjet Printhead
Proceedings of the 1996 IEEE Conference on Emerging Technologies and Factory Automation
1996
Surface-micromachined tunable microgyroscope
International Sessions on Dynamics, Systems and Design, 1966 KSME Fall Anual Meeting
An electrostatically -Tunable Resonant Microgyroscope