주요 특허
EUV 리소그래피용 펠리클 제조 방법 및 그 제조 장치
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2019출원번호
1020190105407PVA 브러쉬 세정 방법 및 장치
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2017출원번호
1020170121997CMP 패드 컨디셔너 및 그 제조 방법
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2017출원번호
1020170059752금속수지정반, 그 제조 방법, 및 그 제조 설비
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2015출원번호
1020150066317극자외선 리소그래피용 마스크의 세정 방법 및 세정 장치
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2008출원번호
1020080050846