Oxide TFT용 PECVD 개발 및 신뢰성 검증 시스템 구축

산업통상자원부

2021년 - 2021년 12월

SOL/Far-SOL 영역 열&입자속 진단과 ELM 및 shoulder 형성 연구

과학기술정보통신부(2017Y)

2021년 - 2021년 12월

건식 하이브리드 표면처리 기술을 이용한 손상된 반도체 정전척 재생 기술개발

중소벤처기업부(2017Y)

2020년 11월 - 2021년 11월

(BK21 PLUS 8차년도)미래 스마트 전력변환 및 제어 신기술

교육부(2013Y)

2020년 03월 - 2020년 08월

Dry Strip용 플라즈마 소스 개발

산업통상자원부

2020년 - 2020년 05월

[민간] Dry Strip용 플라즈마 소스 개발

산업통상자원부

2020년 - 2020년 05월

초대면적을 위한 모듈형 고밀도 플라즈마 소스 개발

중소벤처기업부(2017Y)

2019년 06월 - 2020년 05월

N2/CO2 혼합가스에서의 고주파 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 원천 기술 연구

산업통상자원부

2019년 05월 - 2020년 04월

SOL/Far-SOL 영역 열&입자속 진단 및 ELM 해석

과학기술정보통신부(2017Y)

2019년 04월 - 2019년 05월

(BK21 PLUS 7차년도)미래 스마트 전력변환 및 제어 신기술

교육부(2013Y)

2019년 03월 - 2020년 02월