무선전력 전송기술을 적용한 고밀도, 대면적, 고균일 플라즈마 발생 및 제어 원천기술 연구

과학기술정보통신부(2017Y)

2019년 03월 - 2020년 02월

(BK21 PLUS 6차년도)미래 스마트 전력변환 및 제어 신기술

교육부(2013Y)

2018년 03월 - 2019년 02월

[민간] 대면적 디스플레이용 유도결합 플라즈마 건식식각 공정에서 플라즈마 해석 기술개발

산업통상자원부

2018년 03월 - 2018년 12월

대면적 디스플레이용 유도결합 플라즈마 건식 식각공정에서 플라즈마 해석 기술개발

산업통상자원부

2018년 03월 - 2018년 12월

(BK21 PLUS 5차년도)미래 스마트 전력변환 및 제어 신기술

교육부(2013Y)

2017년 03월 - 2018년 02월

450mm 저압 화학 기상 증착 장비 및 공정개발

산업통상자원부

2016년 10월 - 2017년 09월

AMOLED용 8세대급 고주파 유도결합 플라즈마 건식식각 장비와 저 GWP 가스 적용 SiO2/Al2O3식각 공정 개발

산업통상자원부

2016년 06월 - 2017년 05월

(BK21 PLUS 4차년도)미래 스마트 전력변환 및 제어 신기술

교육부(2013Y)

2016년 03월 - 2017년 02월

저압 플라즈마 원 활용 공정에서의 플라즈마 측정 기술 개발

미래창조과학부

2015년 07월 - 2016년 06월

고밀도 플라즈마를 이용한 10nm급 반도체 및 10세대 디스플레이용 핵심원천 기술개발

산업통상자원부

2015년 06월 - 2016년 05월