헬리칼 공진 코일을 이용한 다채널 무선 전력전송 기술 개발

지식경제부

2012년 07월 - 2013년 06월

저 GWP 적용 LCD Dry Etching 장비 및 공정 개발

지식경제부

2012년 06월 - 2013년 05월

300mm 급 플라즈마 도핑장비 개발

지식경제부

2011년 11월 - 2012년 10월

이차원 플라즈마 균일도 측정 장비 연구

교육과학기술부

2011년 03월 - 2011년 09월

대면적 고균일 플라즈마 발생원 개발 기획 연구

정부출연기관

2009년 04월 - 2009년 10월

비침투식 IEDF 분석 시스템 개선에 대한 연구

지식경제부(산자부)

2008년 09월 - 2009년 08월

플라즈마 공정 챔버 상태 모니터링

산업자원부

2007년 11월 - 2008년 10월

MP² 용 플라즈마 실시간 모니터링 시스템 개발 연구

과학기술부

2007년 04월 - 2007년 11월

실시간 플라즈마 전자온도 및 이온밀도 모니터링 장치

산업자원부

2006년 11월 - 2007년 09월

Dry Light Etch 장비에서의 플라즈마 물성 분석 연구

과학기술부

2006년 09월 - 2007년 08월