직접 플라즈마와 원거리 플라즈마가 동시에 가능한 플라즈마 원 개발과 Tin 원자층 증착에 응용연구

과학기술부

2004년 06월 - 2005년 05월

한빛 플라즈마에서 전자 에너지 분포 함수 측정을 통한 가열 메커니즘 연구

정부출연기관

2004년 - 2004년 11월

챔버청정화를 위한 고밀도 플라즈마 클리닝 시스템 평가

과학기술부

2003년 11월 - 2004년 09월

한빛 플라즈마에서 전자 에너지 분포 함수 측정을 통한 가열 매커니즘 연구

정부출연기관

2003년 - 2003년 11월