발행물
컨퍼런스
한국화학공학회 춘계 정기총회 및 연구논문발표회
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IZO 박막의 구조설계에 의한 염료감응형 태양전지의 성능향상
제35회 한국진공학회 하계학술대회
HBr/Ar의 고밀도 플라즈마를 이용한 Indium Zinc Oxide 투명전극의 건식 식각 특성
Cl2/Ar 가스를 이용한 Gallium Indium Zinc Oxide (GIZO) 박막에 대한 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
The 1st International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
High Density Plasma Etching of Magnetic Tunnel Junction Stacks with Nanometer-Sized Pattern in a Cl2/Ar Gas Mix
The 1st International Conference on Microelectronics and Plamsa Technology
Etch Characteristics of Indium Zinc Oxide Thin Films Using Inductively Coupled Plasma of a Cl2/Ar gas