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C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성

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Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각

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Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각

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rf 스퍼터된 In2O3-ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성에 미치는 스퍼터링 변수의 영향

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Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각