발행물
컨퍼런스
제 13회 한국반도체학술대회
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HBr/Ar 식각가스를 적용한 Zinc Oxide 박막의 식각 특성에 대한 연구
Phase-Change Memory를 위한 GeSbTe 박막의 고밀도플라즈마 식각
2005 한국자기학회 동계학술대회
High Density Plasma Etching of Nanometer-Sized Magnetic Tunnel Junction Structure for Magnetic Random Access Memory
2005 한국공업화학 추계학술대회
유도결합 플라즈마 반응성 이온식각에 의한 GeSbTe 박막의 식각 특성
International Symposium on Spintronics and Advanced Magnetic Technologies and International Symposium on Magnetic Materials and Applications 2005
HIGH DENSITY PLASMA ETCHING OF CoFeSiB MAGNETIC FILMS WITH HARD MASK