발행물

전체 논문

235

141

Optical and electrical properties of rf-sputtered indium zinc oxide films
10055870
J. Ind. Eng. Chem - 직접입력, 200710

142

C2F6/Ar 플라즈마를 이용한 IZO 박막의 건식 식각
조한나, 민수련, 리유에롱, 정지원
응용화학, 200705

143

HBr/Ar과 Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 나노미터로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction Stack의 건식 식각
민수련, 조한나, 리유에롱, 최승필, 정지원
응용화학, 200705

144

Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성
민수련, 이장우, 조한나, 정지원
공업화학 (J. KOREAN IND. ENG. CHEM.), 200702

145

Indium Zinc Oxide 박막 특성에 대한 O2 농도와 열처리 온도의 영향
조한나, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
JOURNAL OF INDUSTRIAL AND ENGINEERING CHEMISTRY, 200612

146

C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성
조한나, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
응용화학, 200611

147

VOx 박막의 구조적 특성과 전기적 특성에 대한 열처리 영향
이장우, 10055870
JOURNAL OF INDUSTRIAL AND ENGINEERING CHEMISTRY, 200610

148

rf 스퍼터된 In2O3-ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성에 미치는 스퍼터링 변수의 영향
리유에롱, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
화학공학의이론과응용, 200610

149

Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각
조한나, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
화학공학의이론과응용, 200610

150

Si nanodot 배열의 형성을 위한 NbOx 나노기둥 마스크의 식각 특성
박익현, 인하대학교, 10055870
JOURNAL OF INDUSTRIAL AND ENGINEERING CHEMISTRY, 200606