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235

151

HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성
민수련, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
응용화학, 200605

152

Radio Frequency Magnetron Sputtering 방법을 이용하여 증착된 Zinc Oxide 박막의 광학적 특성과 전기적 특성
민수련, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
응용화학, 200605

153

Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering 방법으로 증착된 ITO 박막에 대한 산소 농도의 영향
조한나, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
응용화학, 200605

154

Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
민수련, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
화학공학의이론과응용, 200604

155

Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering에 의해 증착된 Indium Zinc Oxide 박막의 전기적 특성과 광학적 특성
조한나, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
화학공학의이론과응용, 200604

156

Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Stacks in a High Density Plasma Using Chlorine-based gases
정지원
직접입력 - 직접입력, 2006

157

Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
정지원
2006년 한국화학공학회 가을 총회 및 학술대회 - 직접입력, 2006

158

Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각
정지원
2006 한국공업화학회 추계 정기총회 및 연구논문발표회 - 직접입력, 2006

159

Etching Characteristics of ZnO Thin Films in a HBr/Ar Plasma
정지원
제 13회 한국반도체학술대회 - 직접입력, 2006

160

High Density Plasma Etching of GeSbTe Thin Films for Phase-Change Memory
정지원
KCS2006 제 13회 한국반도체학술대회 - 직접입력, 2006