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235

181

하드 마스크를 이용한 CoTb과 CoZrNb 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
신별, 인하대학교, 10055870
화학공학의이론과응용, 200410

182

유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각을 이용한 NbOx nanodot의 식각 메커니즘 연구
박익현, 인하대학교, 10055870
응용화학, 200410

183

SiNx 박막을 이용한 Si nanodot 형성에 관한 연구
이장우, 인하대학교, 10055870
응용화학, 200410

184

Cl2/Ar 및 C2F6/Ar discharge를 이용한 NiFe, CoFe 및 IrMn 자성박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
신별, 인하대학교, 0, 10055870
공업화학 (J. KOREAN IND. ENG. CHEM.), 200408

185

반응성 직류 마그네트론 스퍼터링에 의하여 증착된 IZO 박막의 특성
신별, 10055870
공업화학 (J. KOREAN IND. ENG. CHEM.), 200405

186

자기 조립된 TaOx 마스크를 이용한 Si nanodot의 형성
박익현, 인하대학교, 10055870
응용화학, 200405

187

CoTb과 CoZrNb 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
신별, 인하대학교, 10055870
화학공학의이론과응용, 200404

188

Wet Etch Characteristics of NiFe and CoFe Magnetic Thin Films
송영수, 0, 10055870
JOURNAL OF INDUSTRIAL AND ENGINEERING CHEMISTRY, 200403

189

DC 마그네트론 스퍼터링에 의하여 증착된 IZO 박막의 특성
인하대학교, 10055870
응용화학, 200310

190

Characteristics of Ge2Sb2Te5 Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering
0, 10055870
JOURNAL OF INDUSTRIAL AND ENGINEERING CHEMISTRY, 200309