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235

191

Nanometer-Sized Patterning of Polysilicon Thin Films by High Density Plasma Etching Using Cl2 and HBr Gases
0, 10055870
KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING, 200305

192

HBr/Ar 플라즈마내에서 폴리실리콘 박막의 Nanometer 크기의 패터닝
인, 인, 10055870
응용화학, 200305

193

DC 마그네트론 스퍼터링에 의하여 증착된 바나듐 산화막의 특성분석
인하대학교, 인하대학교, 10055870
응용화학, 200305

194

자성 박막의 건식 식각
송영수, 10055870
화학공학의이론과응용, 200304

195

강유전체 Bi3.25La0.75Ti3O12 박막의 증착에 대한 결정화 공정의 영향
10055870
공업화학 - 등재, 200301

196

Nonometer-Sized Etching of Polysilicon Thin Films in a High Density Plasma
정지원
The 50th American Society International Symposium, 2003

197

Etch characteristics of CoZrNb and CoFeTb magnetic films in a high density plasma
정지원
2003 International Symposium on Magnetic Materials and Applications, 2003

198

HBr/Ar 플라즈마내에서 Polysilicon 박막의 Nanometer 크기의 패터닝
정지원
응용화학 - 직접입력, 2003

199

SiO2 hard mask를 이용한 자성 박막의 건식 식각
정지원
화학공학의 이론과 응용 - 직접입력, 2003

200

TiAlN 박막의 Electrical Resistivity에 대한 증착 변수의 영향
0, 0, 0, 0, 0, 10055870
화학공학, 200208