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235

161

Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering 방법을 이용하여 증착된 Zinc Oxide 박막의 광학적 특성과 전기적 특성
정지원
응용화학 - 직접입력, 2006

162

Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering 방법으로 증착된 ITO 박막의 산소 농도의 영향
정지원
응용화학 - 직접입력, 2006

163

자성 메모리의 적용을 위한 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction의 식각 특성
박익현, 인하대학교, 10055870
JOURNAL OF INDUSTRIAL AND ENGINEERING CHEMISTRY, 200512

164

SiNx 박막을 이용한 Si nanodot의 형성
이장우, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
JOURNAL OF INDUSTRIAL AND ENGINEERING CHEMISTRY, 200512

165

고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각
민수련, 인하대학교, 인하대학교, 10055870
화학공학의이론과응용, 200510

166

Metal-insulator-transition 특성을 나타내는 Nb2O5 박막의 증착
이장우, 인하대학교, 10055870
화학공학의이론과응용, 200510

167

E-beam lithography를 이용하여 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction (MTJ)의 건식식각
박익현, 인하대학교, 10055870
화학공학의이론과응용, 200510

168

고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 IrRu 박막의 식각 특성
이장우, 인하대학교, 10055870
응용화학, 200510

169

고밀도 플라즈마 식각에 의한 CoTb과 CoZrNb 박막의 식각 특성
10055870
화학공학 - 등재, 200508

170

Formation of Silicon Nanodot Arrays by Reactive Ion Etching Using Self-Assembled Tantalum Oxide Mask
0, 0, 10055870
JOURNAL OF INDUSTRIAL AND ENGINEERING CHEMISTRY, 200507