박진구 교수 연구실
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Apparatus for Deposinting Particles for Manufacturing a Standard Wafer
씨엠피 장치의 슬러리 재생 시스템
분자 분사 방식을 이용한 초미세 패턴의 건조 방법 및 장치
Slurry Recycling System and Method for Manufacturing a Standard Wafer
Slurry for use in Metal-Chemical mechanical Polishing and Preparation Method thereof
Serum separation from microliter volume of blood
CMP 공정이 수행된 웨이퍼 및 브러쉬의 세정 방법 및 세정 용액
10-2025-0032958
2025.03
펠리클 세정 장치 및 이를 이용한 펠리클 세정 방법
202211663432.1
2022.12
PVA 브러쉬 내 불순물 분석 방법 및 불순물 분석 시스템
10-2022-0011932
2022.01
III-V족 반도체 물질의 평탄화 슬러리, 및 III-V족 반도체 채널의 제조 방법
10-2020-0116270
2020.09
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