분사입자 압흔 형성장치 및 이를 포함하는 충돌력 분석시스템

나노렌즈어레이몰드의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 몰드를 이용한 나노렌즈어레이의 제조방법

실리콘 나노팁 어레이의 제조방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 실리콘 나노팁 어레이

소수성의 유기막을 가지는 패드 컨디셔너

생체물질 고정용 기판, 이의 제조방법 및 이를 구비한 바이오칩

반도체 후면 세정을 위한 메가소닉 세정 시스템

극자외선 리소그래피용 마스크의 세정 방법 및 세정 장치

평판디스플레이용 블랙 매트릭스의 선택적 표면 개질 장치 및 방법

전기 도금에 의한 몰드 복제용 마더 몰드 및 이의 제조방법

루테늄 연마용 슬러리 및 그를 이용한 연마 방법