박진구 교수 연구실
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펠리클 세정 방법, 및 펠리클 세정 장치
10-2020-0067481
2020.06
EUV 리소그래피용 펠리클 제조 방법 및 그 제조 장치
10-2019-0105407
2019.08
CMP 패드 컨디셔너 및 그 동작 방법
10-2019-0027274
2019.03
전기영동증착법을 이용한 CVD 패드 컨디셔너의 제조 및 그 방법
10-2018-0126428
2018.10
세정용 PVA 브러시의 불순물 제거 방법 및 장치
16/648,994
2018.09
CLEANING METHOD FOR PVA BRUSH AND THAT APPARATUS THEREOF (PVA刷子的？洗方法及？洗裝置)
107132730
2018.09
극자외선 박막 펠리클 및 그 제조 방법
10-2018-0100594
2018.08
펠리클 구조체 및 이를 이용한 리소그래피용 마스크의 결함 검사 방법
10-2018-0036176
2018.03
베리어 구조체를 이용한 패턴 마스크의 제조 방법 및 제조 장치
10-2018-0034421
2018.03
CMP 패드 컨디셔너의 측정 방법 및 장치
10-2017-0160309
2017.11
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