발행물
컨퍼런스
제 25회 한국반도체학술대회
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Atomic Layer Deposition of SiO2 and SiOxNy Thin Films Using O2, H2O, N2 and NH3 Remote Plasma
DuraBI 2018
NOVEL FIELD-EFFECT PASSIVATION FOR NANOSTRUCTURED SI SOLAR CELLS USING INTERFACIAL SULFUR INCORPORATION
한국반도체디스플레이기술학회 추계학술대회
DFM 및 EA-ALD를 이용한 ALD Ru 극박막 증착 효율 개선
원자층 증착법을 이용한 g-C3N4/TiO2 의 균일한 이종접합 형성 을 통한 광촉매 활성 개선에 대한 연구
Si 광전극 기반의 PEC 수소생산을 위한 원자층 증착법을 이용한 대면적 이황화몰리브덴 촉매