정진욱 교수 연구실
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SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
17/617,982
하이브리드 플라즈마 발생 장치 및 하이브리드 플라즈마 발생 장치의 제어방법
10-2020-0188217
SUBSTRATE TREATING APPARATUS
17/011,145
플라즈마 발생장치
10-2020-0105684
플라즈마 생성기
10-2020-0071730
플라즈마의 전자 온도 연산 방법
10-2020-0068235
기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
PCT/KR2020/004441
기판 처리 장치
10-2019-0110057
플라즈마 측정 장치
PCT/KR2019/000215
기판 처리 장치 및 안테나 유닛
10-2018-0123527
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