무선전력 전송시스템

플라즈마를 이용한 기판 검사 장치 및 방법

보조 이중 프로브가 구비된 플라즈마 진단장치

인쇄회로기판 검사장치

공정 모니터링 장치 및 공정 모니터링 방법

전자기 유도를 이용한 의료 장치

2차원 공정 모니터링 장치

플라즈마 진단 장치, 및 그 신호 처리 방법

Apparatus for generating remote plasma

리모트 플라즈마 발생장치