plasma diagnostic apparatus and method

플라즈마 진단장치 및 진단방법

플라즈마 진단 장치

증착, 식각용 플라즈마 진단장치

자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생장치

랭뮤어 플라즈마 진단장치

다기능 플라즈마 발생장치