플라즈마 처리 장비 및 이를 이용한 플라즈마 변수 측정

플라즈마 진단장치 및 그 방법

플라즈마 장비

플라즈마의 라디칼 제어 장치 및 방법

플라즈마 진단방법 및 장치

플라즈마 챔버 및 기판 처리 장치

무선전력 전송용 송신기 및 이를 구비한 무선전력 전송시스템

평형전력공급을 이용한 유도결합 플라즈마 공정 시스템

전기 공진을 이용한 송전측 코일조립체, 수전측 코일조립체 및 무선 전력 송수신장치

플라즈마 이온 주입 공정 이온 도즈량 모니터링 방법