PLASMA DIAGNOSTIC APPARATUS AND METHOD

플라즈마 처리 장치, 플라즈마 제어 장치, 및 플라즈마처리 장치의 제어 방법

공정 모니터링 장치와 그 방법

플라즈마 모니터링 방법 및 플라즈마 모니터링 장치

공정 모니터링 방법 및 공정 모니터링 장치

플라즈마 발생용 안테나 장치

유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나

원거리 플라즈마 발생장치

Apparatus for generating remote plasma

랭뮤터 플라즈마 진단 장치