발행물
컨퍼런스
한국공작기계학회 춘계학술대회
,
SEM에서 영상왜곡 제거를 위한 Scan Amplifier 설계
한국공작기계학회 춘계대회
전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정
전자현미경 제어기의 스캔드라이버의 성능향상 방안
SEM해상도 증대를 위한 제어회로 및 주사파형의 조정방안
전자빔 리소그래피를 이용한 주사기법에 따른 패턴형상에 관한 연구